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                                                                        ×

                                                                        Language

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                                                                        MASTER-18微波消解儀:微波消解半導體薄膜材料
                                                                        2021-10-19
                                                                        分享到:

                                                                        1前言

                                                                        半導體膜是指由半導體材料形成的薄膜。隨著制備半導體薄膜的技術不同,在結構上可分為單晶,多晶和無定形薄膜。半導體材料是微電子和光電子器件的主要材料,特別是大規模集成電路芯片上元件的集成度越來越高,元件的尺寸越來越小,半導體薄膜是構成這類器件的基本材料 。我們選擇一種半導體薄膜材料,探索最適合的消解參數,有利于后續對多種無機元素的快速準確測定。

                                                                        2儀器與試劑

                                                                        2.1 儀器


                                                                        新儀MASTER-18微波消解儀,趕酸器,分析天平(十萬分之一)。

                                                                        2.2 試劑

                                                                        硝酸(68%),氫氟酸(40%

                                                                        3實驗方法

                                                                        精確稱取半導體薄膜材料50mg(精確至0.1mg,緩慢滴加8mL硝酸(劇烈反應,釋放氣體),靜置10min左右,待無明顯反應后,補加2mL氫氟酸,組裝消解罐,按照如下設置參數進行實驗:


                                                                        實驗結束后,待冷卻至60℃以下,取出消解罐轉移至通風櫥中緩慢打開,趕酸稀釋后,樣品可完全消解至澄清透明狀態。

                                                                        4結果

                                                                        實驗選取的半導體薄膜材料樣品,取樣為50mg,加入硝酸靜置后,補加氫氟酸,最高實驗溫度210℃,保溫40min左右,樣品可完全消解。

                                                                        5注意

                                                                        1)添加氫氟酸進行實驗后,需進行趕酸處理,防止氫氟酸對玻璃器皿造成腐蝕,也可能會對實驗結果造成影響。

                                                                        2)添加硝酸后樣品反應劇烈,實驗過程中應緩慢加入或者分多次加入硝酸,同時實驗人員需做好防護。

                                                                        服務熱線:0531-88874444          服務郵箱:China@hanon.cc
                                                                        国产久RE热视频精品播放,H漫无羞遮无删减漫画免费,日本无遮真人祼交视频